LiTaO3基板上の漏洩弾性表面波の特性改善
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概要
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A Leaky surface acoustic wave (LSAW) on Al-electrodes/36-48°YX-LiTaO3 substrates have widely used as filters and duplexers in cell phones because of having a suitable electro-mechanical coupling factor, reflection coefficient and good Q-factor for cell phones. In this paper, a new LSAW structure consisted of upper Al-electrodes stacked on lower grooved Cu-electrodes in the LiTaO3 is proposed and compared with Al-electrodes (0.1λ)/42°YX-LiTaO3 which has been considered the best structure ever. As the result, authors have been able to improve characteristics of the LSAW.
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