PE7 RFマグネトロン型ECRスパッタによるZnO膜/サファイアのSAW特性(ポスターセッション1)

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 1997-11-12

著者

• 門田 道雄

  村田製作所

• 皆方 誠

  静岡大学電子工学研究所

• 皆方 誠

  静岡大学電子研

関連論文

• 高度情報通信時代を支える弾性表面波素子
• 高度情報通信時代を支える弾性表面波素子
• 超音波デバイス CVDで成膜したLiNbO3膜を用いた高周波ラム波デバイス--4.5GHz高周波共振子をMEMS構造LiNbO3薄膜ラム波で実現
• PE11 チョコラルスキー法で育成したランガサイト基板のSAW特性(SAWデバイス,ポスターセッション2)
• チョコラルスキー法で育成したランガサイト基板のSAW特性の評価
• ZnO/Si基板上および石英ガラス基板上多結晶GaNの結晶構造と発光特性
• RFマグネトロン形ECRスパッタ装置によるZnO膜の特性
• 1PD-8 ZnO/ガラス構造SAWフィルタの周波数調整(弾性表面波,ポスターセッション(概要講演))
• "生体-分子電線-半導体"融合による光受容素子
• 光合成たんぱく質を用いたバイオフォトセンサー
• C-4-42 駆動電圧2V XカットLiNbO_3薄板型光変調器(C-4.レーザ・量子エレクトロニクス)
• C-3-99 低駆動電圧 X-cut LiNbO_3 薄板型光変調器
• C-3-53 40Gb/s用X-cut LiNbO_3光変調器モジュール
• 裏溝構造LiNbO_3光導波路を用いた低駆動電圧高速変調器
• C-3-3 40Gb/s・2.8V x-cut LiNbO_3裏溝付き光変調器
• CS-9-2 超高速光通信に向けた薄板型LiNbO_3光変調器(CS-9.大容量・高機能光通信時代を拓く集積光デバイス,シンポジウムセッション)
• C-3-62 低駆動電圧X-cut LiNbO_3薄板型光位相変調器(光変調器,C-3. 光エレクトロニクス,一般セッション)
• 小型折返し構造X-cut LiNbO_3薄板型光変調器の高性能化(光エレクトロニクス)
• マイクロ波フォトニクスに向けたLiNbO_3光変調器(デバイス技術,光・無線融合技術をベースとするシステムとデバイス論文)
• C-3-67 低駆動電圧X-cut LiNbO_3薄板型光位相変調器(光変調器,C-3.光エレクトロニクス,一般講演)
• C-3-55 折り返し光導波路を用いた小型・高速X-cut LiNbO_3薄板型光変調器(光スイッチ・変調器(2),C-3.光エレクトロニクス,一般講演)
• マッハツェンダ型LN光変調器を用いた簡易構成による4逓倍ミリ波発生
• C-14-10 MZ-LN光変調器とFBGフィルタによるn逓倍ミリ波発生(C-14. マイクロ波フォトニクス, エレクトロニクス1)
• P2-21 良好な温度特性をもつPCS用SAW Duplexer(ポスターセッション2(概要講演))
• P1-C-19 α相電極を用い低損失化された水晶SH型LSAW共振子型フィルタ(バルク波・表面波デバイス,ポスターセッション1(概要講演))
• 重い電極/水晶基板構造の超小形なSH型LSAWデバイス(超音波エレクトロニクス)
• 超解像蛍光顕微鏡用評価チャートの作製
• 超解像蛍光顕微鏡用評価チャートの作製
• 超音波顕微鏡による圧電セラミック基板の縦波音速測定とその応用
• モード同期ピコ秒パルスを用いたファイバ形ファブリ・ペロ共振器の光双安定性の発生(量子光学,非線形光学,超高速現象,レーザ基礎から応用,その他一般)
• C-3-76 長尺電極を用いた低半波長電圧X-cut LiNbO_3薄板型光位相変調器(光変調器,C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)
• 1J5-1 凹凸SiO_2/Cu電極/LiNbO_3構造弾性表面波デュプレクサ(バルク波デバイス/弾性表面波デバイス)
• SiO_2表面に凹凸を設けたSiO_2/Cu電極/LiNbO_3構造SAWデュプレクサ(非線形音響,一般)
• P2-38 温度特性の良好なより小形US-PCS用SAWデュプレクサ(ポスター発表)
• 2P-25 CVDで成膜されたLiNbO_3膜を用いた高周波バルク共振子(ポスターセッション)
• 2E-6 弾性表面波を用いた磁気センサ(測定技術,映像法,非破壊評価&圧電デバイス)
• OF05 水晶基板上のラブ波型SH波を用いた超小型共振子型フィルタ(弾性表面波デバイス)
• 高能率SHGデバイス作製用微小分極反転形成法の研究 : Full Cover Electrode Method の提案
• 分極反転制御用レーザ露光装置の研究
• PE7 RFマグネトロン型ECRスパッタによるZnO膜/サファイアのSAW特性(ポスターセッション1)
• PB7 RF型ECRスパッタ装置によるZnO圧電膜の特性(ポスターセッションB)
• PD13 ECRによるZnO膜のイオンポリッシング(ポスターセッション概要講演)
• 1次モードを利用した積層型圧電トランス
• 3J3-4 高結合ZnO/水晶構造デバイスにおける温度特性改良(圧電デバイス)
• 3P3-10 高密度Cu溝電極からなる広帯域共振子とその応用(ポスターセッション)
• P1-36 端面反射型共振子の高周波化と温度特性改善(ポスター発表)
• 超音波デバイス 良好な温度特性の新構造広帯域SAW共振子--Al電極使用でも良好な温度特性、大きな反射係数、広い帯域をもつ
• C-2 A1電極を用いても良好な温度特性と大きな反射係数をもつSAW基板(バルク波・表面波デバイス)
• PF01 BGS波・SH波の端面反射を用いた縦結合型共振子フィルタ(ポスターセッションI)
• PC7 BGS波を用いたダブルトラップ用共振子(ポスターセッション3-概要講演・展示)
• 超音波デバイス 企業におけるSAWデバイスの開発・実用化--実用化を目的とした企業における研究開発
• 2P-24 LiNbO_3単結晶薄板を用いた5.4GHzラム波共振子とその応用(ポスターセッション)
• 3P3-8 周期的分極反転LiTaO_3基板からなる弾性波デバイス(ポスターセッション)
• 超音波デバイス Y面LiNbO3基板上エピタキシャルZnO膜の形成--Y面LiNbO3基板上とに配向制御
• 1J5-2 ZnO/高密度電極/水晶構造高周波共振子型フィルタ(バルク波デバイス/弾性表面波デバイス)
• 1P5-5 LiNbO_3薄膜を用いた高周波ラム波デバイス(ポスターセッション)
• 1P5-2 SiO_2/高密度電極 /LiTaO_3構造共振子SAWフィルタの肩特性改善(ポスターセッション)
• 1-06-04 Y面LiNbO_3基板上エピタキシャルZnO膜の形成(弾性表面波デバイス)
• 1-06P-63 良好な温度特性を持つ狭帯域RF・SAWフィルタ(ポスターセッション 1)
• 1-04-01 温度補償された音響光学素子とその歪センサーシステムへの応用(光-超音波エレクトロニクス)
• 弾性表面波デバイスの実用化
• 音響光学素子の歪センサーへの応用(音響・超音波サブソサイエティ合同研究会)
• 超音波デバイス 音響光学素子を用いた歪み・振動センサ--弾性表面波と光の相互作用を用いたデバイスを歪・振動センサに応用
• L-1 音響光学素子を用いた歪み・振動センサ(光-超音波エレクトロニクス)
• 超音波デバイス 広帯域SAW共振子とそのチューナブルフィルタへの応用
• 超音波デバイス 超小形W-CDMA用SAWデュプレクサ--小形で良好な温度特性と周波数特性をもつ携帯電話用部品
• E-1 良好な温度特性を持つ小形WCDMAフルバンド対応SAWデュプレクサ(弾性表面波デバイス)
• G3 BGS波を用いたセラミック共振子
• 2-PF-8 ZnO層の表面研磨によるSAWフィルタ特性向上(2-P.ポスターセッション(概要講演))
• PF-2 走査型非線形誘電率顕微鏡を用いたZnO圧電薄膜の面方位決定
• 走査型非線形誘電率顕微鏡を用いたZnO圧電薄膜の面方位決定
• OE3 端面反射を利用したSIF用BGS波共振子型フイルタ(SAWデバイス)
• OC5 セラミックスを用いたBGS波共振子の高周波特性(超音波デバイス)
• B-3 サファイア基板上のZnO膜を用いたバルク横波トランスジューサ(材料・計測,口頭発表)
• Y面LiNbO_3基板上エピタキシャル(100)配向ZnO膜および(001)配向多結晶膜の配向制御(音響・超音波サブソサイエティ合同研究会)
• LiTaO3基板上の漏洩弾性表面波の特性改善
• AS-2-2 Cu溝電極/基板構造広帯域共振子のバンドパス型チューナブルフィルタへの応用(AS-2.弾性波デバイスの現状と将来,シンポジウムセッション)
• 基板内Cu溝電極を用いた広帯域SAW共振子とそのチューナブルフィルタへの応用
• ZnO/Si基板上および石英ガラス基板上多結晶GaNの結晶構造と発光特性
• ECR-MBE法による多結晶ZnO基板上のGaN結晶成長と構造評価 : 気相成長IV
• 超音波デバイス 弾性表面波を用いた磁気センサ
• 実用化を目指した弾性表面波(SAW)デバイスの開発(特別講演)
• C-3 弾性境界波を用いたRFフィルタ(バルク波・表面波デバイス)
• INV-1 材料・プロセスに特徴をもつSAWデバイスの開発と実用化(招待講演1)
• PC25 非線形圧電性の制御とその弾性表面波エラスティックコンボルバの高効率化への応用(ポスタセッションC-概要講演・展示)
• H-4 ZnO膜/水晶構造を用いた小型、低損失IF SAWフィルタ(弾性表面波デバイス,口頭発表)
• 弾性表面波デバイス(音響学の温故知新)
• 1J3-4 様々なNi電極構造を用いたSAW磁気センサの感度(圧電デバイス(バルク波デバイス,弾性表面波デバイス))
• 2Pb3-2 SAW共振子を用いたバンドパス型チューナブルフィルタ(ポスターセッション)
• 超音波デバイス LiTaO基板を用いたSAW共振子の特性改善
• 超音波デバイス さまざまなNi電極構造によるSAW磁気センサ : Niから成るすだら状電極を用いたSAW共振子の感度について
• PB-20 ZnO/YZ・LiNbO_3構造におけるSAW特性とエラスティックコンボルバ特性(P.ポスターセッションB-概要講演・展示)
• SA-11-5 ZnO/YZ・LiNbO_3構造におけるSAW特性とエラスティックコンボルバへの適用(SA-8. ブロック暗号の攻撃法とその対策,シンポジウム)
• Cu溝電極/基板構造広帯域SAW共振子のバンドパス型チューナブルフィルタへの応用
• LiTaO_3基板上の漏洩弾性表面波の特性改善
• CVD作製したLiTaO_3薄膜の特性
• 基板内Cu溝電極を用いた広帯域SAW共振子とそのチューナブルフィルタへの応用
• 良好な温度特性をもつ小形弾性表面波デュプレクサ(周波数発生・制御デバイスの新展開論文)
• 1Ja3-1 SH型板波を用いた超広帯域共振子とその応用(圧電デバイス)
• 2P3-4 LiNbO_3薄板を用いた音響多層膜型Lamb波共振子(ポスターセッション)

もっと見る 閉じる

スポンサーリンク