超音波デバイス CVDで成膜したLiNbO3膜を用いた高周波ラム波デバイス--4.5GHz高周波共振子をMEMS構造LiNbO3薄膜ラム波で実現

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概要

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著者

• 門田 道雄

  村田製作所

• 小上 貴史

  村田製作所

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