小上 貴史 | 村田製作所
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概要
関連著者
著作論文
- 超音波デバイス CVDで成膜したLiNbO3膜を用いた高周波ラム波デバイス--4.5GHz高周波共振子をMEMS構造LiNbO3薄膜ラム波で実現
- 2P-24 LiNbO_3単結晶薄板を用いた5.4GHzラム波共振子とその応用(ポスターセッション)
- 3P3-8 周期的分極反転LiTaO_3基板からなる弾性波デバイス(ポスターセッション)
- 1P5-5 LiNbO_3薄膜を用いた高周波ラム波デバイス(ポスターセッション)
- 1Ja3-1 SH型板波を用いた超広帯域共振子とその応用(圧電デバイス)
- 2P3-4 LiNbO_3薄板を用いた音響多層膜型Lamb波共振子(ポスターセッション)