小型折返し構造X-cut LiNbO_3薄板型光変調器の高性能化(光エレクトロニクス)
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概要
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従来の薄板型光変調器の低駆動電圧,高速動作といった特長に併せてチップ短尺化が可能な折返し構造をもつ薄板型光変調器について,高速動作を可能にする変調器構造を提案する.従来提案されていた折返し構造では,折返し領域において光導波路光路長と変調電極電気長の間に差があり,両者に到達時間差が生じることから変調帯域が制限されるという問題を抱えていた.ここでは折返し部において変調電極を光導波路にできる限り沿わせて配置することで光路長と電気長の差を縮小し,擬似的な光-マイクロ波速度整合を図るとともに,電極構造と高速動作性の関係を検討した.更に折返し部GND下にバッファ層を設け,光挿入損の低減を図った.試作した変調器は変調帯域20GHz,半波長電圧2.0V@dc,光挿入損-4.9dB,チップサイズ1.8×29mmと良好な特性を得た.更に完全速度整合可能な折返し構造についても検討した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2008-02-01
著者
-
三富 修
NTT光エレクトロニクス研究所
-
青木 謙治
日本ガイシ(株)
-
皆方 誠
静岡大学電子工学研究所
-
近藤 順悟
日本ガイシ(株)
-
江尻 哲也
日本ガイシ(株)
-
三冨 修
日本ガイシ(株)
-
岩田 雄一
日本ガイシ(株)
-
浜島 章
日本ガイシ(株)
-
三冨 修
電電公社
-
皆方 誠
静岡大学電子研
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