酸素透過膜による酸素センサの可能性
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概要
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前報では各種ガス, 各種振動モードの圧電振動子の各感圧特性から酸素センサとして用いるための可能性について報告した。本論文では, ATカット水晶振動子がガス圧センサとして有効であることを利用して, 酸素透過膜(ポリエチレン膜)を用いて透過特性測定装置を作成し, 大気中に主に存在する窒素, 酸素, 及び二酸化炭素について透過特性測定を行った。その結果から, ATカット水晶振動子がガス圧測定に適すること, ポリエチレン膜は酸素以外に二酸化炭素も透過することもわかった。今後, 酸素ガスのみを透過する膜の選定が重要であるといえる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2005-10-14
著者
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