圧電効果素子を用いた酸素センサの可能性
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概要
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ある環境下に対する庄電振動子の応答の要因としていろいろなものが挙げられる。対象が導電性であるか否か,機械的な摩擦や弾性,比重,温度,さらに素子自体の振動モードや環境に接する面積などの数多くの要因がある。それらのパラメータの組み合わせから,最適設計されたセンサに通せば,数多くの測定が可能である。本論文では4種類の圧電振動子を採用し,異なる振動モード間における温度特性測定と圧力特性測定を行い,素子自体の基本特性に関して詳細に検討した。その結果から,圧力に対する応答として静電容量と抵抗成分があることを確認できた。各種圧電素子の中で,ATカット水晶振動子はガスセンシングに対して有効であることがわかった。
- 2004-10-22
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