TC-1-2 RTD/HEMT 高集積回路実現のためのプロセス技術
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概要
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- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2003-09-10
著者
-
多木 俊裕
(株)富士通研究所
-
高橋 剛
(株)富士通研究所
-
岡本 直哉
富士通
-
岡本 直哉
(現)東京大学ナノエレクトロニクス連携研究センター
-
原 直紀
(現)東京大学ナノエレクトロニクス連携研究センター
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