多結晶Si太陽電池用ウエハの正孔密度の温度依存性のインゴット中における場所依存
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概要
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太陽電池に用いられる多結晶Siウエハに対して,温度を変化させながらHall効果測定を行った.インゴット中の異なる場所からスライスしたウエハの多数キャリア密度の温度依存性を求めることにより,多数キャリア密度の温度依存性がインゴット中の場所に依存していることが確認できた.さらにインゴットのボトム部ではFemi-Dirac分布関数に従わない異常な多数キャリア密度の温度依存性が見られた.またトップ部では,当研究室で提案した評価方法を用いることにより,多数キャリア密度の温度依存性からウエハ中の複数の不純物の密度とエネルギー準位を評価することができた.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2002-12-13
著者
-
松浦 秀治
大阪電気通信大学工学部電気電子工学科
-
黒田 知宏
大阪電気通信大学 工学研究科 総合電子工学
-
石田 卓也
大阪電気通信大学 工学研究科 総合電子工学
-
松浦 秀治
大阪電気通信大学大学院工学研究科電子通信工学専攻
-
松浦 秀治
大阪電気通信大学 工学研究科 電子通信工学専攻
-
松浦 秀治
大阪電気通信大学
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