低価格に適したX線検出素子(Silicon Drift Detector)の提案(シリコン関連材料の作製と評価)
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概要
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環境問題の高まりから有害物質に対する規制が多く設けられ,有害物質検査の短時間化を計るために,可搬できる蛍光X線検出器が望まれている.当研究室では,市販されているX線検出素子である約18本のリングを持つSDD(Silicon Drift Detector)の簡素化に着目した.Si表面の保護酸化膜中に含まれる固定電荷の影響を考慮し,酸化膜上にゲート電極を蒸着させた構造であるgated SDD(GSDD)を提案している.このGSDDは低価格化に適した構造である.今回はゲート電極の間隔に着目し,高エネルギーX線に適した構造と低エネルギーX線に適した構造を検討する.
- 2012-11-30
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