固体センサの過渡応答による化学分析
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概要
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この研究の目的は固体センサの表面で反応する化学種を定性・定量的に分析することである.従来,これまで,主に固体センサによるガス検出の研究は,センサの化学種に対する感度に重点を置き,応答が飽和した状態でのセンサ出力に着目してきた.しかしながら,反応の初期段階と反応が平衡するまでの過渡期間においては,センサ表面で反応している気体の化学的過程について多くの情報を有している.本研究においては,センサ表面での反応モデルを構成し,まず,化学反応過程を数学的にシミュレートした.次に,反応する気体の化学種を特定し,また,その量を決定するために,本手法を実際の実験データに適用し有効な結果が得られた.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2002-06-13
著者
-
勝部 昭明
埼玉大学理工学研究科
-
勝部 昭明
埼玉大学工学部情報システム工学科
-
勝部 昭明
埼玉大工
-
大薮 多可志
金沢星稜大学
-
川辺 弘之
金城大学
-
川邊 弘之
金城大学社会福祉学部
-
大薮 多可志
金沢星稜大学大学院・経営戦略研究科
-
瀬戸 就一
金城大学短期大学部
-
下村 有子
金城大学社会福祉学部
-
川辺 弘之
金城大学社会福祉学部
-
下村 有子
金城大学
-
大薮 多可志
金沢星稜大
-
勝部 昭明
埼玉大学工学部
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