レーザーアブレーション法を用いた高温・高感度接合型NO_xガスセンサ
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概要
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In order to develop a high temperature (200°C∼400°C) and high sensitive NOx gas sensor, we developed a new structure of SiC-based hetero-junction device Pt/SnO2/SiC/Ni, Pt/In2O3/SiC/Ni and Pt/WO3/SiC/Ni using a laser ablation method for the preparation of both metal (Pt) electrode and metal-oxide film. It was found that Pt/In2O3/SiC/Ni sensor shows higher sensitivity to NO2 gas compared with the Pt/SnO2/SiC/Ni and Pt/WO3/SiC/Ni sensor, whereas the Pt/WO3/SiC/Ni sensor had better sensitivity to NO gas. These results suggest that selective detection of NO and NO2 gases may be obtained by choosing different metal oxide films.
- 社団法人 電気学会の論文
- 2006-12-01
著者
-
勝部 昭明
埼玉大学理工学研究科
-
勝部 昭明
埼玉大工
-
長谷川 有貴
埼玉大学
-
長谷川 有貴
埼玉大学大学院理工学研究科
-
勝部 昭明
埼玉大学大学院理工学研究科
-
高 巍
埼玉大学大学院理工学研究科勝部研究室
-
史 麗琴
埼玉大学大学院理工学研究科勝部研究室
-
長谷川 有貴
埼玉大学大学院
-
勝部 昭明
埼玉大学大学院
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