SPV法を用いたNO_x、NH_3ガスの2次元測定
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概要
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導電性薄膜電極を活用した表面光電圧法(SPV)法ガスセンサを制作しその特性を調べた。SPV法をガスセンサに応用する場合、電極の取り出し方が問題である。本報告では、まずガス感応性の薄膜電極を用いることを提案した。この電極は構造が簡単で二次元測定にも適していることを示した。次に特性改善の為、触媒となる2層膜を検討した。その結果2層膜構造で感度や応答速度を改善させる可能性があることを示した。二次元測定では、ガスの流れを視覚的に観測できることを示した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-09-21
著者
-
勝部 昭明
埼玉大学理工学研究科
-
勝部 昭明
埼玉大工
-
内田 秀和
埼玉大学
-
森 光庸
埼玉大学
-
森 光庸
埼玉大学理工学研究科
-
河野 良明
埼玉大学理工学研究科
-
Vasconcelos Elder
埼玉大学理工学研究科
-
内田 秀和
埼玉大学理工学研究科
-
内田 秀和
埼玉大
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