Pt/SnO_2/SiC/Niヘテロ構造を用いた高温高感度NOxガスセンサ
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概要
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In order to develop a high temperature (200°C˜400°C) and high sensitive NOx gas sensor with SiC based junction structure, a hetero-junction structure, Pt/SnO2/SiC/Ni, was investigated and compared with the catalytic metal gate Schottky structure (Pt/SiC/Ni) sensor. It was found that the hetero-junction device showed much higher sensitivity to NO2 gas compared with the Schottky junction structure sensor, whereas Schottky structure device had better sensitivity to NO gas than a hetero-junction structure sensor. These results suggest that selective detection of NO and NO2 gases may be attained with these different structure devices.
- 社団法人 電気学会の論文
- 2005-02-01
著者
-
勝部 昭明
埼玉大学理工学研究科
-
勝部 昭明
埼玉大工
-
長谷川 有貴
埼玉大学
-
長谷川 有貴
埼玉大学大学院理工学研究科
-
勝部 昭明
埼玉大学大学院理工学研究科
-
高 巍
埼玉大学大学院理工学研究科勝部研究室
-
史 麗琴
埼玉大学大学院理工学研究科勝部研究室
-
KHAN Shabbir
埼玉大学大学院理工学研究科勝部研究室
-
SHI Liqin
埼玉大学大学院理工学研究科勝部研究室
-
長谷川 有貴
埼玉大学大学院
-
勝部 昭明
埼玉大学大学院
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