RFスパッタリング法によるSnO_2薄膜の膜構造とガス感度特性
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概要
著者
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勝部 昭明
埼玉大学工学部情報システム工学科
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国元 晃
株式会社リケン研究開発部
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田村 春香
リケン
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国元 晃
リケン/埼玉大学工学部
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国元 晃
R & D Division Riken Corporation
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勝部 昭明
埼玉大学工学部
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