RFスパッタリング法によるSnO_2薄膜の膜構造とガス感度特性

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概要

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SnO_2単体膜を用いて、スパッタ成膜条件がSnO_2膜の微細構造に及ぼす影響を調ぺ、それらとガス感度特性との関係を明らかにし、薄膜型半導体ガスセンサにおける感度特性の要因メカニズムの究明を行った。その結果、特にスパッタ成膜時のガス圧力に膜粒子形態が大きく影響され、高ガス圧ほどSnO_2粒子径が増大し、粒子間隔も広がることが判明した。熱処理によって更にこの傾向は顕著になった。これらの異なった膜構造と感度特性との関係を調べた結果、水素、アルコールに対しては膜密度が低く、膜粒子が粗いほど感度が高かった。応答性では膜密度が高く、繊密な膜構造で速い応答性を示した。これよりSnO_2膜では粒子の形態、及び粒子間隙の大きさで感度特性が著しく影響されることが確認され、SnO_2膜内部へのガス拡散も大きく感度に寄与することが判明した。
社団法人電子情報通信学会の論文
1996-06-21

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