スパッタ法で作成した酸化イリジウム膜のEC特性
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概要
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Preparation and electrochromic properties of sputtered iridium oxide films (SIROF's) were investigated to find the optimum deposition conditions. It was found that electrochromic properties and stabilities of SIROF's strongly depend on oxygen pressure and deposition rate. The optical efficiency as high as 20 cm<SUP>2</SUP>/C was attained with the deposition rate of 5-10Å/min and the oxygen pressure of 35 mTorr The obtained films showed stable color changes in 0.5M H<SUB>2</SUB>SO<SUB>4</SUB> electrolyte. In order to get the contrast change of 3 (Δ <I>OD</I> =0.47), the required charge density was 25 mC/cm<SUP>2</SUP> at the oxide thickness of 700Å with the response time less than 100 msec in both coloring and bleaching processes.
- 日本真空協会の論文
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