(CoFeB)-(SiO_2)系高電気抵抗膜における透磁率の膜厚依存性と基板の影響
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概要
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Highly resistive soft magnetic (CoFeB)-(SiO_2) films were deposited on glass substrates and polyimide substrates. The frequency dependence of the permeability of the films was investigated in the range of a few GHz. The films exhibited flat frequency profiles with constant μ'_r up to 800 MHz, and high resonance frequencies of 1.1-1.8 GHz. The thickness dependence of the reciprocal of the loss factor tan δ(μ'_r/μ"_r) was compared at 1 GHz for the films deposited on glass substrates. Films with a thickness of 0.1 μm exhibited a low loss factor over 5, which indicated good potential for application in a 1 GHz-inductor.
- 社団法人日本磁気学会の論文
- 2001-04-15
著者
-
馬場 誠
東北大・通研
-
山口 正洋
東大 大学院医学系研究科
-
荒井 賢一
東北大学・電気通信研究所
-
本山 真潮
デルタワークス
-
島田 寛
東北大学・多元物質研究所
-
山口 正洋
東北大学・電気通信研究所
-
宗像 誠
崇城大学・エネルギーエレクトロニクス研究所
-
八木 正昭
崇城大学・エネルギーエレクトロニクス研究所
-
馬場 誠
東北大学・電気通信研究所
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