LC共振を利用した高感度薄膜磁気センサの可能性 (<特集>センサ)
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概要
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This paper reports the performance of a LC resonant magnetic thin-film sensor. The impedance of the sensor changes according to the magnetic field dependence of the permeability and LC resonance of the sensor at high frequencies. To obtain high sensitivity, the tonductor layer was covered with insulating layers and magnetic layers. As a result, a large impedance change of 105% was achieved.
- 社団法人日本磁気学会の論文
- 1997-04-15
著者
-
石山 和志
東北大学電気通信研究所
-
中川 英之
東北大・通研
-
中川 英之
東北大学電気通信研究所
-
荒井 賢一
東北大学電気通信研究所
-
竹澤 昌晃
東北大学電気通信研究所
-
菊池 弘昭
東北大学電気通信研究所
-
我妻 成人
東北大学電気通信研究所
-
山口 正洋
東北大学電気通信研究所
-
山口 正洋
東大 大学院医学系研究科
-
菊池 弘昭
岩手大学
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