CoNbZr薄膜を用いた平面型磁界センサによる心磁界計測
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概要
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We developed a very sensitive high-frequency carrier-type magnetic-field sensor with a sub-pT resolution using a transmission-line-type sensor. Meander-type sensor elements using amorphous CoNbZr films (4μm in thickness), Cu conductor with a meander pattern (30 mm in length, 1.0 mm in width, 18 μm in thickness), and a ground plane were fabricated. We obtained a magnetic field resolution of 9.1×10-13 T/Hz1/2 at 1 Hz. The detectable magnetic field was limited by the 1/f noise. We detected a magnetocardiogram (MCG) signal of heartbeats with the sensor.
- 社団法人 日本磁気学会の論文
- 2009-05-01
著者
-
加藤 和夫
東北学院大学工学部
-
小澤 哲也
宮城工業高等専門学校 電気工学科
-
石山 和志
東北大学電気通信研究所
-
小澤 哲也
宮城工業高等専門学校
-
小澤 哲也
東北大
-
薮上 信
東北学院大学
-
荒井 賢一
東北大学電気通信研究所
-
荒井 賢一
東北大通研
-
荒井 賢一
電気磁気材料研究所
-
大友 祐一
東北学院大学
-
藪上 信
東北学院大学工学部
-
荒井 賢一
東北大学
-
加藤 和夫
東北学院大学
-
大友 祐一
東北学院大学工学部
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