熱処理温度制御による高周波キャリア型薄膜磁界センサの高感度化(計測・高周波デバイス)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
We designed high-frequency-carrier type thin-film sensors to obtain high impedance change by controlling the annealing temperature, and investigated the relationships between the noise level, magnetic permeability, and domain structure. Meander-type sensor elements were fabricated, and a magnetic field resolution of 3.4×10^<-8> Oe/Hz^<1/2> at 501 kHz was obtained.
- 社団法人日本磁気学会の論文
- 2006-03-01
著者
-
石山 和志
東北大学電気通信研究所
-
小澤 哲也
宮城工業高等専門学校
-
小澤 哲也
東北大
-
小澤 哲也
東北大学電気通信研究所
-
村山 芳隆
東北大学電気通信研究所
-
荒井 賢一
東北大学電気通信研究所
-
藪上 信
東北学院大学工学部
-
薮上 信
東北大学電気通信研究所
-
堀越 直
東北東大学電気通信研究所
-
堀越 直
東北大学電気通信研究所
関連論文
- Stepped-GMI 素子の素子形状とインピーダンス特性の関係
- 低温フェライトめっき技術の磁気マイクロマシンへの応用
- 発熱素子を組み込んだ磁気マイクロマシンの試作 : 生体磁気
- LC共振を利用した高感度薄膜磁気センサの可能性 (センサ)
- 細径アクチュエータ用能動屈曲機構の開発
- 卓越技術データベースの構築と発信 : 愛称 : 電気のデジタル博物館
- 回転磁界を用いた2個の磁気微粒子の分離に関する基礎検討
- 高周波キャリア型薄膜磁界センサによる心磁界計測の試み
- ワイヤレス磁気マーカの位置検出システムにおける位置精度向上の検討
- 位置検出システムのコイル配置と検出精度に関する検討
- Flexible magnetic actuator based biomimetics robots
- マイクロ磁気ドライブ技術とその応用調査専門委員会の審議のまとめ
- 磁歪膜を用いた歪センサに関する検討
- ワイヤレス磁気マーカによる顎運動計測システムの試作
- 高磁束密度Fe基アモルファス軟磁性粉末および成形磁心の特性
- 高周波キャリア型薄膜磁界センサによる心磁界測定
- 回転磁界を用いた磁性微粒子の分散に関する基礎検討
- 傾斜した面内ストライプ磁区の磁区構造転移を利用した大バルクハウゼンセンサの検討
- CoNbZr薄膜を用いた平面型磁界センサによる心磁界計測
- 高周波キャリア型薄膜磁界センサを用いた心磁界測定
- 磁気を使って動かす探る : マイクロロボットの実現に向けて
- 形状磁気異方性を用いた高周波キャリア型磁界センサの磁性薄膜構造に関する検討(計測・高周波デバイス)
- 不連続的GMI素子におけるインピーダンス不連続点の外部磁界変動に対する安定性(計測・高周波デバイス)
- 磁気微粒子の分散を目的とした回転磁界中における微小磁石の挙動の検討
- マイクロ磁気ドライブ技術とその応用調査専門委員会
- 生体を対象とした磁気アクチュエータの応用
- 無方向性珪素鋼板の雰囲気中焼鈍と磁気特性
- 高抵抗Fe-Al-O薄膜の透磁率特性
- 肝臓中を移動する磁気マイクロマシンの推進方向制御(生体磁気・医療応用)
- 肝臓中駆動型磁気マイクロマシンの基礎実験
- 肝臓中を移動する磁気マイクロマシンの推進方向制御
- 高周波キャリア型薄膜磁界センサを用いた心磁界測定
- Fe-Si単結晶板の磁化過程
- (100)けい素鋼単結晶板の磁わい
- (100)けい素鋼単結晶板の磁わい
- ブタ腸内におけるカプセル内視鏡用磁気アクチュエータの駆動(生体磁気・医療応用)
- カプセル内視鏡用磁気アクチュエータの基礎特性
- ワイヤレス磁気アクチュエータによる大腸内視鏡誘導補助機構の検討
- ブタ腸内におけるカプセル内視鏡用磁気アクチュエータの駆動
- 磁気アクチュエータによる大腸内視鏡誘導と腸内観察(生体磁気・医療応用)
- 磁気アクチュエータによる大腸内視鏡誘導と腸内観察
- コプレーナ配置した薄膜磁石バイアス構造を有する高周波キャリア型磁界センサ
- コプレーナ配置した薄膜磁石バイアス構造を有する高周波キャリア型磁界センサ
- 医療福祉分野におけるマイクロ磁気技術の未来像
- スパイラル型磁気マイクロマシンの始動特性 : モータ・アクチュエータ
- 泳動型磁気マイクロマシンの始動特性
- スパイラル型磁気マイクロマシンの始動特性
- 1302 医用応用を目的とした磁気マイクロマシンシステムの開発
- 研究グループ紹介 東北大学電気通信研究所 物性機能デバイス研究部門 スピンエレクトロニクス研究分野
- マイクロ磁気アクチュエータの開発 : コードレスで歩く,飛ぶ
- 高周波キャリア型薄膜磁界センサの位相差検出による交流磁界測定装置の開発
- 振幅変調による高周波キャリア型薄膜磁界センサの設計
- 高周波キャリア型薄膜磁界センサの厚膜化
- 不連続的インピーダンス変化特性を有した薄膜GMIセンサと微分回路を組合せた磁界検出方法に関する検討(計測・高周波デバイス)
- 柔軟基板上に形成した磁気弾性歪センサ
- 柔軟基板上に形成した磁気弾性歪センサ
- 鉄基アモルファス膜のセンサ応用
- 異方性分散を持つ軟磁性薄膜の磁気特性評価
- 磁気異方性に広い角度分散を持つ軟磁性膜の評価
- 10^T台の磁界検出分解能を有する高周波伝送線路型薄膜磁界センサ
- 高周波キャリア型薄膜磁界センサの高感度化の検討
- 熱処理温度制御による高周波キャリア型薄膜磁界センサの高感度化(計測・高周波デバイス)
- 熱処理条件及び断面形状制御による高周波キャリア型薄膜磁界センサの高感度化
- 高周波キャリアを用いた位相検出型薄膜磁界センサの開発
- 高周波キャリアを用いた位相検出型薄膜磁界センサの開発
- 振幅変調による高周波キャリア型薄膜磁界センサの設計(計測・高周波デバイス)
- 振幅変調による高周波キャリア型薄膜磁界センサの設計
- 磁歪膜を用いた歪センサのインピーダンス変化に関する検討
- 多点ワイヤレス磁気マーカによる指先のモーションキャプチャシステム
- LC共振型磁気マーカを用いた位置・方向検出システムの位置精度検証
- 複数LC共振型磁気マーカを用いた多点位置検出システム(計測・高周波デバイス)
- 磁気を利用したワイヤレス温度計測
- 磁場によるワイヤレス温度計測システム
- 磁気を利用したワイヤレス温度計測
- 感温フェライトを用いた遠隔温度計測
- SmCoスパッタ薄膜の構造と磁気特性
- 高周波キャリア型センサによる低周波磁界計測
- 泳動型磁気マイクロマシンの推力に関する検討(パワーマグネティックス)
- ワイヤを牽引する磁気マイクロマシンの試作(生体磁気・医療応用)
- ワイヤを牽引する磁気マイクロマシンの試作
- 複数の発熱体を用いたハイパーサーミアの加温領域に関する基礎的考察(生体磁気)
- 複数の発熱体を用いたハイパーサーミアの加温領域に関する基礎的考察
- 弱磁界中で動作可能な片持ち梁型磁気アクチュエータに関する検討(パワーマグネティックス)
- 弱磁界中で動作可能な片持ち梁型磁気アクチュエータに関する検討
- 3次元泳動特性解析法を用いたらせん型磁気マイクロマシンの形状設計(機械力学,計測,自動制御)
- 反射信号を用いた高周波キャリア型磁界センサによる微小交流磁界計測に関する研究(Selected Papers from the Fourth International Workshop on High Frequency Micromagnetic Devices and Materials(MMDM4))
- 磁気トルクを利用したマイクロマシンの小型化に関する検討
- 磁歪駆動型カンチレバーに関する検討
- スパイラル型磁気マイクロマシンを用いたディスポーザブルポンプシステム(パワーマグネティックス)
- 磁性薄膜を用いた片持ち梁型磁気アクチュエータに関する検討(パワーマグネティックス)
- 磁気マシンを用いたマイクロポンプの微少流量制御に関する検討
- 回転して推進するマイクロマシンのスケーリング則に関する検討
- 磁気マイクロマシンの肝臓中駆動(第13回MAGDAコンファレンス)
- スパイラル型磁気マイクロマシンを用いたマイクロポンプ(パワーマグネティクス)
- 平面型構造の磁気マイクロマシンの試作(パワーマグネティクス)
- 345 3次元泳動特性解析法を用いたらせん型磁気マイクロマシンの形状設計(OS4-02 : 生物の機能とロボティクス,バイオロボティクス)
- 高周波キャリア型薄膜磁界センサの高感度化
- 2方向性けい素鋼単結晶板の磁区構造と磁わい (ソフト材料)
- 2方向性けい素鋼単結晶板の磁区構造変化
- 2方向性けい素鋼板の磁わいと磁区構造