磁性薄膜を用いた片持ち梁型磁気アクチュエータに関する検討(パワーマグネティックス)
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概要
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This paper describes a cantilevered magnetic actuator driven in a low magnetic field. Magnetostriction was used as a driving principle in this study. We studied the displacement of the cantilevered magnetic actuator by the magnetostriction. FeSiB with the thickness of 0.7 μm was used as a magnetostrictive thin film. The dimensions of the cantilever were 1 mm×5 mm. We used polyimide films with thicknesses of 30 μm and 7.5 μm and Ni foil with a thickness of 5 μm as substrates. As a result, the cantilevered magnetic actuator was able to function in a magnetic field of 10 kA/m. The maximum displacement of the cantilevered magnetic actuator was about 40 μm with an Ni substrate.
- 社団法人日本磁気学会の論文
- 2006-03-01
著者
-
石山 和志
東北大学電気通信研究所
-
山崎 彩
東北大学電気通信研究所
-
荒井 賢一
東北大学電気通信研究所
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我妻 成人
東北大学電気通信研究所
-
師岡 ケイ子
東北大学電気通信研究所
-
横田 周子
東北大学電気通信研究所
-
仙道 雅彦
みやぎ産業振興機構
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