振幅変調による高周波キャリア型薄膜磁界センサの設計(計測・高周波デバイス)
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概要
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We designed high-frequency-carrier-type thin-film sensors to obtain high sensitivity. We consider the relation between the sensor form and the sensor to be characteristic. When the sensor area was fixed to 5 mm×5 mm, and the sensor interval was 30 μm, the width of the sensor with the best sensitivity was set to 200-400μm. We fabricated a meander-type sensor element, and compared the calculated and measured result. It was found that-they mostly in agreed.
- 社団法人日本磁気学会の論文
- 2005-04-01
著者
-
石山 和志
東北大学電気通信研究所
-
小澤 哲也
宮城工業高等専門学校
-
小澤 哲也
東北大学電気通信研究所
-
村山 芳隆
東北大学電気通信研究所
-
荒井 賢一
東北大学電気通信研究所
-
藪上 信
東北学院大学工学部
-
薮上 信
東北大学電気通信研究所
-
堀越 直
タカノ株式会社
-
堀越 直
東北東大学電気通信研究所
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