10^<-13>T台の磁界検出分解能を有する高周波伝送線路型薄膜磁界センサ
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概要
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We developed a very sensitive high-frequency carrier-type magnetic field sensor with a sub-pT resolution using a resonating transmission line. Meander-type sensor elements using amorphous CoNbZr films were fabricated. We obtained a magnetic field resolution of 7.4×10^<-13> T/Hz^<1/2> at 501kHz. The detectable magnetic field was limited by the noise caused by nonlinear magnetic excitation. We analyzed the quality factor of the resonance for enhancement of the signal-to-noise ratio.
- 社団法人日本磁気学会の論文
- 2007-01-01
著者
-
石山 和志
東北大学電気通信研究所
-
小澤 哲也
宮城工業高等専門学校
-
小澤 哲也
東北大
-
薮上 信
東北学院大学
-
村山 芳隆
東北大学電気通信研究所
-
荒井 賢一
東北大学電気通信研究所
-
荒井 賢一
電気磁気材料研究所
-
藪上 信
東北学院大学工学部
-
荒井 賢一
東北大学
-
小澤 哲也
宮城高等工業専門学校
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