RF集積化インダクタ用CoNbZr膜の微細寸法設計
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概要
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- 2000-09-01
著者
-
伊東 健治
三菱電機株式会社情報技術総合研究所
-
伊東 健治
三菱電機株式会社
-
伊東 健治
三菱電機株式会社先端技術総合研究所
-
荒井 賢一
東北大学電気通信研究所
-
馬場 誠
東北大・通研
-
山口 正洋
東北大学電気通信研究所
-
末沢 健吉
東北大学電気通信研究所
-
田邉 信二
三菱電機株式会社 先端技術総合研究所
-
芳賀 昭
東北学院大
-
山口 正洋
東大 大学院医学系研究科
-
田邊 信二
三菱電機株式会社先端技術総合研究所
-
茂泉 孝
東北学院大
-
馬場 誠
東北大学電気通信研究所
-
末永 健吉
東北大学通研
-
田邉 信二
三菱電機株式会社先端技術総合研究所
-
芳賀 昭
東北学院大学
-
田邉 信二
三菱電機株式会社
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