Fe-Al-Oグラニュラー膜の微細パターン化による磁気特性の制御と薄膜インダクタへの適用
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概要
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- 1998-07-21
著者
-
伊東 健治
三菱電機株式会社情報技術総合研究所
-
伊東 健治
三菱電機株式会社
-
伊東 健治
三菱電機株式会社先端技術総合研究所
-
島田 寛
東北大学科学計測研究所 磁気機能計測研究分野
-
末沢 健吉
東北大学電気通信研究所
-
高橋 祐一
東北学院大学工学部
-
田邉 信二
三菱電機株式会社 先端技術総合研究所
-
李 衛東
トーキン
-
山口 正洋
東大 大学院医学系研究科
-
李 衛東
東北大学科学計測研究所
-
田邊 信二
三菱電機株式会社先端技術総合研究所
-
末沢 健吉
東北大学通研
-
山口 正洋
東北大学通研
-
荒井 賢一
東北大学通研
-
末永 健吉
東北大学通研
-
田邉 信二
三菱電機株式会社先端技術総合研究所
-
田邉 信二
三菱電機株式会社
-
島田 寛
東北大学科学計測研究所
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