高感度集積化磁界プローブによる高周波磁気イメージング(イメージセンサのインターフェース回路,アナログ,及び一般)
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概要
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近傍磁界計測のための新しいタイプの高感度、高空間分解能を持ったアクティブ型磁界プローブを開発した。CMOS-SOI(Silicon On Insulator)プロセスを用い、検出コイル、2段差動アンプ、差動-シングルエンド変換回路、出力バッファ、周辺バイアス回路をすべて1つのチップに集積化している。本プローブでは検出コイルを差動構造とし、差動-シングルエンド変換回路に高い同相信号除去特性を持たせることで、放射電磁波内の電界成分を除去し、磁界成分を選択的に検出する。試作したプローブによる2次元磁界分布測定においては、従来のシールデイツドループコイルに比べて高精細なノイズマップ画像が得られた。また、アレイ化したプローブによるスイッチングスキャン動作を行うことで、ミクロンレベルの磁界プローブとしては初めての多点同時測定を実現した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2006-07-20
著者
-
青山 聡
(株)ブルックマン テクノロジ
-
川人 祥二
静大・電研
-
青山 聡
静岡大学 電子科学研究科
-
川人 祥二
静岡大学 電子工学研究所
-
山口 正洋
東北大学 大学院工学研究科
-
山口 正洋
東北大・工
-
山口 正洋
東大 大学院医学系研究科
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