フリップチップ接続を有する近傍磁界計測用薄膜微小シールディドループプローブ(マイクロ波,ミリ波)
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概要
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EMC設計情報を得るために,LSIやプリント回路基板の近傍磁界,または配線電流を精度良く評価することは重要で,特にノイズ源と考えられるLSIをターゲットとした計測の必要性が高まっている.そのような高空間分解能な計測に適した,薄膜プロセスによる微小シールディドループプローブをこれまで開発してきたが,ループ出力を取り出すワイヤボンディング接続部の電磁シールド性能が十分でないという問題があった.本論文では,電磁シールド性能の向上や低損失化が期待されるフリップチップ接続によってループ出力を取り出す新たな微小シールディドループプローブの構造を提案し,作製したプローブの配線近傍での磁界検出特性評価よりフリップチップ接続の有用性を示した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2004-03-01
著者
-
山口 正洋
東北大学大学院工学研究科電気・通信工学専攻
-
荒井 賢一
東北大学電気通信研究所
-
増田 則夫
日本電気株式会社 生産技術研究所
-
山口 正洋
東北大・工
-
栗山 敏秀
日本電気株式会社生産技術研究所実装設計テクノロジーグループ
-
栗山 敏秀
日本電気株式会社
-
卜 金清
東北大学電気通信研究所
-
玉置 尚哉
日本電気株式会社生産技術研究所実装設計テクノロジーグループ
-
増田 則夫
日本電気株式会社生産技術研究所実装設計テクノロジーグループ
-
増田 則夫
日本電気株式会社
-
玉置 尚哉
日本電気株式会社
-
山口 正洋
東大 大学院医学系研究科
-
山口 正洋
東北大学大学院
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