RF集積化マイクロ磁気デバイス(特別ワークショップ「RFマイクロエレクトロニクス」)
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概要
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マイクロ滋気デバイスとは磁性薄膜をキーマテリアルとした新規な機能素子・機能デバイスの総称である.GHz帯で動作可能な磁性薄膜の開発とその高周波特性評価技術に基礎を置き,RF集積回路の小形化・高Q化を目的とした薄膜インダクタ・トランス,伝送線路デバイス,携帯電話の省電力最適化を目的としたマイクロDC-DCコンバータ,テラビツト記録の期持される光マイクロ磁気デバイス,高密度実装基板や集積回路の電磁雑音対策を目的としたEMCマイクロ磁気デバイスなどが開発されている.その現状と動向を著者らの研究成果を中心に説明する.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2004-03-09
著者
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