D226 ナノヒーターアレイの設計
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概要
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The heater array considered to be effective in nano-technology research especially heat physical-properties measurement in nano scale and the experiment about a heating action was designed. It is the 1000×1000 heater array whose interval is less than 1-micrometer. By taking in a thin film diode to the wiring, the number of wiring is reduced sharply. The validity of this heater array was verified in respect theoretical heat diffusion model.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2002-11-06
著者
-
高橋 厚史
九大工
-
高橋 厚史
九州大学大学院工学研究院航空宇宙工学部門
-
浅野 種正
九工大マイクロ化センター
-
梶原 勇人
九大院学
-
阿知波 哲史
九大院学
-
Togitani Kazuto
国立がんセンター中央病院
-
阿知波 哲史
九州大学大学院工学研究院航空宇宙工学部門
-
高橋 厚史
九大
-
梶原 勇人
九大院
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