OS1-10 Joule-Thomson型マイクロ冷凍機(OS1 マイクロエネルギー変換,分散と集中の共存)
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概要
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We made a prototype Joule-Thomson micro-cooler that was fabricated on Si wafer by photofabrication. The micro-cooler in the present study uses ethylene as a refrigerant. Inlet and outlet gas pressures are set to 2.5MPa and 0.1MPa, respectively. There are slits on counter-flow heat exchanger to prevent heat flow to the cold region along Si wafer. Evaporator temperature reached 270K with pressure of 2.5MPa and mass flow of 9.98mg, and we confirmed the operation of micro-cooler.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2006-06-28
著者
-
高田 保之
九大工
-
河野 正道
九大工
-
高橋 厚史
九大工
-
高橋 厚史
九州大学大学院工学研究院航空宇宙工学部門
-
高橋 厚史
九州大学工学部
-
高田 保之
Department Of Mechanical Engineering Kyushu University
-
河野 正道
九州大学機械工学部門
-
Togitani Kazuto
国立がんセンター中央病院
-
立川 孝幸
九大
-
久保田 裕巳
九州大学大学院工学研究院
-
久保田 裕巳
九州大学大学院工学研究院機械科学部門
-
須加原 光喜
九大院
-
藤井 智明
九大院
-
久保田 裕己
九大
-
高橋 厚史
九大
-
Takata Y
Department Of Mechanical Engineering Science Kyushu University
-
高田 保之
九大
-
河野 正道
九大
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