347 紫外光ベッセルレーザービームを用いたマイクロドリル加工(T06-5 マイクロ・ナノ熱流体システム(5) 光・波動・振動,大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)

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概要

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• Laser micro drilling in a polyimide (thickness 12.5 μm) was carried out with a nanosecond pulsed Bessel laser beam (wavelength: 355 nm). When the energy density is large, debris due to melted materials was not generated though work damage (multiple-ring structures) was clearly visible around the central hole. This damage tends to be larger than that by micro-drilling using a visible beam. On the other hand, work damage can be controlled when the energy density is small.

• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 2008-08-02

著者

• 高田 保之

  九大工

• 河野 正道

  九大工

• 高田 保之

  Department Of Mechanical Engineering Kyushu University

• 河野 正道

  九州大学機械工学部門

• 川内 進司

  九州大学大学院 工学研究院 機械工学部門

• 松岡 芳彦

  産総研

• 乙藤 拓人

  九州大学・大学院・工学研究院・機械工学部門

• 乙藤 拓人

  九大院

• 川内 進司

  九大院

• Takata Y

  Department Of Mechanical Engineering Science Kyushu University

• 松岡 芳彦

  Hoya(株)r&dセンター

• 松岡 芳彦

  産業技術総合研究所マイクロ・ナノ機能広域発現研究センター

• 高田 保之

  九大

• 河野 正道

  九大

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