C221 ジュール・トムソン型マイクロ冷凍機の基礎研究(熱交換2)
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概要
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We made a prototype Joule-Thomson micro-cooler that was fabricated on Si wafer by photofabrication. The micro-cooler in the present study uses ethylene as a refrigerant. Inlet and outlet gas pressures are set to 2.5MPa and 0.1MPa, respectively. There are slits on counter-flow heat exchanger to prevent heat flow to the cold region along Si wafer. Evaporator temperature reached 270K with pressure of 2.5MPa and mass flow of 9.98mg/s, and we confirmed the operation of micro-cooler.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2006-11-23
著者
-
高田 保之
九大工
-
河野 正道
九大工
-
高橋 厚史
九大工
-
高橋 厚史
九州大学大学院工学研究院航空宇宙工学部門
-
高橋 厚史
九州大学工学部
-
高田 保之
Department Of Mechanical Engineering Kyushu University
-
河野 正道
九州大学機械工学部門
-
諸江 将吾
九大院
-
Togitani Kazuto
国立がんセンター中央病院
-
立川 孝幸
九大
-
久保田 裕巳
九大
-
久保田 裕巳
九州大学大学院工学研究院
-
久保田 裕巳
九州大学大学院工学研究院機械科学部門
-
立川 孝幸
九大院
-
須加原 光喜
九大院
-
高橋 厚史
九大
-
Takata Y
Department Of Mechanical Engineering Science Kyushu University
-
高田 保之
九大
-
河野 正道
九大
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