OS1-04 マイクロチャンネルに適した気体加熱システムに関する研究(OS1 マイクロエネルギー変換)
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概要
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Heating of fluid in microchannels is an important process in many micro fluidic devices (microreactors, microsensors and microthrusters). A microchannel with heater grooves was fabricated using DRIE method. A nickel wire is fixed in the groove which was formed perpendicularly to the microchannel. After the microchannel and the wire were assembled. FeCl_3 solution was pumped through the channel in order to etch the wire. The exposed part of nickel wire was etched locally in the microchannel. The fabrication is simple but this heater is expected to work effectively for microchannel fluid.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2005-06-28
著者
-
高橋 厚史
九大工
-
高橋 厚史
九州大学大学院工学研究院航空宇宙工学部門
-
高橋 厚史
九州大学工学部
-
梶原 勇人
九大院学
-
Togitani Kazuto
国立がんセンター中央病院
-
高橋 厚史
九大
-
梶原 勇人
九大院
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