C245 ナノ熱ダイオード素子の計測方法の開発(物性計測)
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概要
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In this paper, we develop a measuring method of nano thermal diode device using Pt nano sensors fabricated by NEMS (Nano electro mechanical systems) technology. Because the thermal conductivity of nano thermal diode has direction dependency, two-way temperature gradient and sensing are needed. So two suspended Pt nano sensors are fabricated, nano thermal diode is bridged between these sensors. One of these Pt nano sensors is electrically heated and temperature gradient is provided to the nano thermal diode. The thermal conductivity is analytically derived and measurement errors are estimated.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2007-11-23
著者
-
伊藤 洋平
九大院
-
高橋 厚史
九大工
-
張 興
清華大
-
藤井 丕夫
産総研
-
藤井 丕夫
産業技術総合研究所
-
高橋 厚史
九州大学
-
高橋 厚史
九州大学大学院工学研究院航空宇宙工学部門
-
高橋 厚史
九州大学工学部
-
藤井 丕夫
九大機能研
-
Togitani Kazuto
国立がんセンター中央病院
-
高橋 厚史
九大
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