5026 超微細フィンを持つナノ熱線センサーの数値解析(S51-2 マイクロ・ナノスケールの熱流体現象とその応用(2),S51 マイクロ・ナノスケールの熱流体現象とその応用)
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概要
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Heat transfer of ultra fine fins on a nano thermal sensor is treated. Nano thermal sensor that is fabricated using NEMS (Nano Electro Mechanical Systems) technology is useful to explore the microscopic fluid or control its motion. But the signal from nano sensor is too small to use practically. In order to improve sensitivity of nano sensor, addition of nano scale pin fin is promising. This paper analyzes the fin performance using DSMC (Direct Simulation Monte Calro) method and discusses the configuration of nano fins.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2006-09-15
著者
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