535 コギングの抑制によるリニアモータの高精度位置決め制御(電磁力関連システムの制御)(OS.08 : 先端的・萌芽的制御技術とその応用)
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概要
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A linear motor is applicable to the machine tool and the semiconductor manufacture device as an actuator which achieves a fast feed. Unevenness is formed in the feed speed, and positioning accuracy gets poor when a torque ripple by cogging occurs it in the drive linear motor. The positioning deviation that it is formed by cogging of the linear motor is extracted by the filter, and a verification result by the recommendation of the method which restrains this and the actual mechanical is stated in this report.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2001-08-03
著者
-
中村 政俊
佐賀大学大学院工学系研究科
-
後藤 聡
佐賀大学大学院工学系研究科
-
山本 暁洋
安川情報システム株式会社
-
中村 政俊
佐賀大学先端研究教育施設システム制御研究所
-
中村 政俊
佐賀大学理工学電気工学教室
-
中村 政俊
佐賀大学 理工学部
-
浜松 弘
安川電機
-
山本 暁洋
安川電機
-
宮河 秀和
安川電機
-
宮河 秀和
安川情報システム株式会社
-
後藤 聡
佐賀大 大学院
-
中村 政俊
佐賀大学
-
中村 政俊
佐賀大
-
浜松 弘
北九州高専工
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