5a-B-4 Si(001)水素終端化表面の水酸基によるエッチング現象の第一原理計算(I)

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概要

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• 1997-09-16

著者

• 小畠 厳貴

  荏原

• 後藤 英和

  京工繊大

• 広瀬 喜久治

  阪大工

• 坂本 正雄

  阪大工

• 杉山 和久

  阪大工

• 稲垣 耕治

  阪大工

• 杉山 和久

  高知高専

• 後藤 英和

  阪大院工

• 森 勇蔵

  阪大工

• 小野 倫也

  阪大院・工

• 小畠 巌貴

  阪大院

• 坂本 正雄

  阪大・工・精密

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