6pPSB-55 ハロゲンガスを用いたSi表面のプラズマエッチングにおける第一原理分子動力学シミュレーション : Oラジカルによるハロゲン生成促進効果の解析(表面界面結晶成長,領域9)

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概要

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• 一般社団法人日本物理学会の論文
• 2002-08-13

著者

• 広瀬 喜久治

  阪大工

• 小野 倫也

  阪大工

• 後藤 英和

  阪大工

• 稲垣 耕司

  阪大工

• 森 勇蔵

  阪大工

• 池田 裕志

  阪大工

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