28pPSB-68 異なる結晶面方位を持つ Si 表面の光反射率スペクトルの差の解析 : (100) と (111) の比較

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 2003-03-06

著者

• 広瀬 喜久治

  阪大工

• 小野 倫也

  阪大工

• 稲垣 耕司

  阪大工

• 稲垣 耕司

  大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻

• 稲垣 耕司

  阪大院工:jst-crest

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