杉山 和久 | 阪大工
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概要
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土屋 八郎
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京都工芸繊維大学工芸学部
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シリコンテクノロジー(株)
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岡田 浩巳
阪大・工
著作論文
- 水酸基と相互作用するシリコン単結晶(001)水素終端化表面の第1原理分子動力学シミュレーション
- 5a-B-4 Si(001)水素終端化表面の水酸基によるエッチング現象の第一原理計算(I)
- 25pW-2 第一原理分子動力学によるフッ素および塩素のSi(001)表面への反応素過程シミュレーション
- 24aPS-49 第一原理分子動力学によるElastic Emission Machiningにおける表面反応の材料依存性の解析I : Si(001)表面とSiO_2, ZrO_2, TiO_2微粒子間の反応
- 25aPS-37 実空間差分法による水分子の解離過程の解析