奥西 亮介 | 阪大工

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概要

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• 広瀬 喜久治

  阪大工

• 稲垣 耕司

  阪大工

• 遠藤 勝義

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• 岡田 浩巳

  阪大工

• 奥西 亮介

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• 岡田 浩巳

  シリコンテクノロジー(株)

• 岡田 浩巳

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• 杉山 和久

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• 森 勇藏

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• 小野 倫也

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• 杉山 和久

  高知高専

• 稲垣 耕司

  大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻

• 森 勇蔵

  阪大工

• 杉山 和彦

  高知高専

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著作論文

• 25pW-2 第一原理分子動力学によるフッ素および塩素のSi(001)表面への反応素過程シミュレーション
• ハロゲンによるSi表面エッチング過程の第一原理分子動力学シミュレーション : エッチング過程とガス材料依存性

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