29a-PS-23 シリコンおよび金属表面の水酸基によるエッチング現象の第一原理計算(I)

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概要

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• 1999-03-15

著者

• 小畠 厳貴

  荏原

• 後藤 英和

  京工繊大

• 広瀬 喜久治

  阪大院工

• 稲垣 耕司

  阪大院工

• 杉山 和久

  高知高専

• 後藤 英和

  阪大院工

• 広瀬 喜久治

  阪大院・工

• 森 勇藏

  阪大院・工

• 杉山 和久

  阪大院

• 小畠 巌貴

  阪大院

• 稲垣 耕司

  阪大院・工

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