27pPSA-54 第一原理計算による酸化シリコン薄膜のリーク電流の予測(領域9ポスターセッション)(領域9)

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 2004-03-03

著者

• 広瀬 喜久治

  阪大院工

• 小野 倫也

  阪大院工

• 中川 大輔

  阪大院工

• 中川 大輔

  阪大・工

• 小野 倫也

  阪大院・工

• 広瀬 喜久治

  阪大院・工

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