26pPSB-11 第一原理計算によるHfO_2/SiO_2/Si界面の酸素空孔の解析(26pPSB 領域9ポスターセッション,領域9(表面・界面,結晶成長))

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概要

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• 一般社団法人日本物理学会の論文
• 2012-03-05

著者

• 小野 倫也

  阪大院工

• 小嶋 隆史

  阪大院工

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