プラズマ援用研磨による4H-SiC(0001)表面の高品位仕上げ加工
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概要
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- 2011-09-01
著者
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山村 和也
大阪大学
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是津 信行
大阪大学大学院工学研究科附属超精密科学研究センター
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瀧口 達也
大阪大学大学院
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〓 輝
大阪大学大学院
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山村 和也
大阪大学大学院
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服部 梓
大阪大学 産業科学研究所
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上田 真己
大阪大学大学院
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是津 信行
大阪大学大学院
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