半導体表面からの励起電子誘起脱離(I) : ハロゲン吸着シリコンへの電子・正孔注入の場合
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概要
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We review excited-electron-induced desorption from halogen-adsorbed semiconductor surfaces, focusing on desorption processes associated with electron-beam irradiation using an electron gun and hole-injection using a scanning tunneling microscope. Recent studies on halogen-adsorbed silicon surfaces, i.e., typical etching systems, are described from the viewpoint of desorption induced by electronic transitions (DIET).
- 日本真空協会の論文
- 2006-10-20
著者
-
野中 聡
旭川医科大学耳鼻咽喉科・頭頸部外科学講座
-
田中 正俊
横浜国立大学工学部知能物理工学科
-
首藤 健一
横国大工
-
田中 正俊
横国大工
-
首藤 健一
横浜国立大学工学部知能物理工学科
-
田中 正俊
横浜国立大学大学院工学府物理情報工学
-
首藤 健一
横浜国立大学工学部
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