Novel Structure and Fabrication Process for Integrated RF Microelectromechanical-System Technology
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- Published by the Japan Society of Applied Physics through the Institute of Pure and Applied Physicsの論文
- 2006-09-15
著者
-
町田 憲一
阪大先端セ
-
Sato Norio
Ntt Corp. Kanagawa Jpn
-
URANO Masami
NTT Microsystem Integration Laboratories
-
SAKATA Tomomi
NTT Microsystem Integration Laboratories
-
ISHII Hiromu
NTT Microsystem Integration Laboratories
-
MACHIDA Katsuyuki
NTT Microsystem Integration Laboratories
-
Kodate Junichi
Ntt Microsystem Integration Laboratories Ntt Corporation
-
MORIMURA Hiroki
NTT Microsystem Integration Laboratories
-
YANO Masaki
NTT Advanced Technology Corporation, NTT Corporation
-
Urano Masami
Ntt Microsystem Integration Laboratories Ntt Corporation
-
SATO Norio
NTT Microsystem Integration Labs.
-
KAMEI Toshikazu
NTT Advanced Technology Corp.
-
KUDOU Kazuhisa
NTT Advanced Technology Corp.
-
KUWABARA Kei
NTT Microsystem Integration Laboratories, NTT Corporation
-
Yano Masaki
Ntt Advanced Technology Corporation
-
Kudou Kazuhisa
Ntt Advanced Technology Corporation
-
Morimura Hiroki
Ntt Microsystem Integration Laboratories Ntt Corporation
-
Sato Norio
Ntt Microsystem Integration Lab. Kanagawa Jpn
-
Kuwabara Kei
Ntt Microsystem Integration Laboratories Ntt Corporation
-
Sahri N
Ntt Microsystem Integration Laboratories Ntt Corporation
-
Ishii Hiromu
Ntt Microsystem Integration Laboratories Ntt Corporation
-
Machida K
Ntt Advanced Technology Corporation
-
Kamei Toshikazu
Ntt Advanced Technology Corporation
-
Kodate Junichi
Ntt Microsystem Integration Laboratories
-
Yano Masaki
NTT Advanced Technology Corp.
関連論文
- 希土類磁石の低沸点金属蒸気処理と磁気特性
- 21pPSA-10 Fe/Tb人工格子薄膜の電気伝導に見られる近藤効果(21pPSA 領域3ポスターセッション,領域3(磁性,磁気共鳴))
- フラックス法によるLuAlO_3単結晶の常圧下合成および評価
- 18pPSB-69 強磁性ErAl_2におけるCe置換効果(18pPSB 領域8ポスターセッション(f電子系等2:アクチナイド,超伝導,新物質など),領域8(強相関系:高温超伝導,強相関f電子系など))
- 硫酸基により表面修飾されたセリア担持白金触媒の複合化による脱硝特性の向上
- Ca_2Si_5N_8:Eu, Tm蛍光体の作製と残光特性
- 白色発光ダイオード用蛍光体SrSi_2O_2N_2:Eu^の合成と発光特性(希土類系物質の精密合成,形態制御および機能物性)
- 小型Nd-Fe-B焼結磁石の特性改善とそれを用いたモータ特性
- 炭素還元窒化法による複合金属窒化物Sr_2Si_5N_8:Eu^蛍光体の合成と白色LEDの試作
- Eu^付活金属窒化物蛍光体の合成と白色LEDの試作
- 希土類錯体分散有機-無機複合体のホールバーニング特性
- 希土類イオンドープストロンチウムホウ酸塩の結晶化と発光特性
- 27aPS-131 強磁性体GdAl_2の磁気体積効果II(27aPS 領域3ポスターセッション(遍歴磁性体・化合物磁性体・f電子系・磁性一般),領域3(磁性,磁気共鳴))
- 21pPSB-4 強磁性体GdAl_2の磁気体積効果(21pPSB 領域3ポスターセッション,領域3(磁性,磁気共鳴))
- Tb改質Nd-Fe-B系磁石の微細構造解析
- 合金前駆体を用いた複合金属窒化物CaAlSiN_3:Eu^蛍光体の合成とその応用
- シリカゲル-ポリマー複合マトリックスに分散した希土類錯体の発光特性
- 希土類錯体分散シリカ-ポリマー複合体の発光特性
- シリカゲル中に分散させたユウロピウム(III)クラウンエーテル錯体の光還元
- ユウロピウム錯体と還元性有機分子を共分散したシリカ系複合体の永続的ホールバーニング特性
- EuSi_2O_2N_2の蛍光特性への出発原料に由来する酸素不純物の影響
- 希土類蛍光体のリサイクル技術 (特集 希土類3R技術(1))
- Novel Packaging Technology for Microelectromechanical-System Devices
- ニッケル-水素電池からの希土類元素の回収 (特集 希土類3R技術(1))
- 希土類磁石のリユース/リサイクルの研究開発動向 (特集 世界をリードする永久磁石材料の進展)
- 特定元素を粒界に偏在させた高性能希土類磁石 (特集 希土類材料開発の最前線)
- カルボニル化反応を用いた希土類磁石スクラップからの新規な資源回収プロセスと電波吸収体としての再生(希土類系物質の精密合成,形態制御および機能物性)
- 希土類磁石研磨屑からの鉄基ナノ複合体の再生とその電波吸収特性
- 希土類磁石研磨屑からの鉄基ナノ複合体の再生とその電波吸収特性
- カルボニル錯体の形成を利用した希土類磁石スクラップからの遷移金属の回収
- 希土類磁石研磨屑スクラップの電波吸収体としてのリサイクル
- DyおよびTb金属微粒子の作製とこれを用いて粒界改質したNd-Fe-B系焼結磁石の磁気特性
- [(Nd,Tb)FeB]/Fe積層膜磁石の作製と磁気特性
- Nd-Fe-B/Ln(Ln=Nd, Tb)系積層膜磁石の作製と磁気特性
- 希土類化合物粉末を塗布したNd-Fe-B系焼結磁石の改質特性
- Nd-Fe-B系焼結磁石の粒界改質と磁気特性
- 粒界改質型Nd-Fe-B系焼結磁石の磁気特性
- 希土類酸化物を還元拡散させたNd-Fe-B系焼結磁石の磁気特性
- 選択的塩素化によるNd-Fe-B系焼結磁石からの希土類成分抽出
- [{Nd-Fe-B}_x/{Tb}_y]_n系多層薄膜磁石の結晶構造と磁気特性
- Nd-Fe-B系希土類焼結磁石スクラップの二合金法による再生
- 希土類焼結磁石スクラップの再利用
- ハイブリッド型希土類ボンド磁石の作製と磁気特性
- 希土類磁石スクラップのリサイクル
- 金属亜鉛収着法による耐久性希土類ボンド磁石の作製と磁気特性
- Selective Electrodeposition Technology for Organic Insulator Films on Microelectromechanical-System Structures
- Anti-Sticking Effect of Organic Dielectric Formed by Electrodeposition in Microelectromechanical-System Structures
- The effect of thick interconnections formed by gold electroplating on the characteristics of metal-oxide-semiconductor field-effect transistors
- Thick Au High-Q Inductor and Its Chip-on-Chip Bonding on an RF IC for Various Frequencies
- RF-MEMS Switch Structure for Low-Voltage Actuation and High-Density Integration
- Characterization of air-gap sealing with organic dielectric using spin-coating film transfer and hot-pressing technology
- Peel-off characteristics at interface between base film and dielectrics with spin-coating film transfer and hot-pressing technology
- Novel Structure and Fabrication Process for Integrated RF Microelectromechanical-System Technology
- Electrodeposition of Organic Dielectric Film and Its Application to Vibrational Microelectromechanical System Devices
- Integrated RF-MEMS Technology with Wafer-Level Encapsulation
- Force-Sensing Scheme for Small Mechanical Signals in Complementary Metal Oxide Semiconductor Microelectromechanical System Fingerprint Sensor
- Thick-Dielectric Formation and MOSFET Reliability with Spin-Coating Film Transfer and Hot-Pressing Technique for Seamless Integration Technology
- Characteristics of Fingerprint Sensing on Capacitive Fingerprint Sensor LSIs with a Grounded Wall Structure
- Advanced Spin Coating Film Transfer and Hot-Pressing Process for Global Planarization with Dielectric-Material-Viscosity Control
- Evaluation of Sensitivity on a Capacitive Fingerprint Sensor LSI with a Grounded Wall Structure
- Pt/CeO_2脱硝触媒のオキソ酸による表面修飾効果
- Pt/MO_2(M=Ce, Zr)触媒の硫酸基修飾によるNOx還元特性の向上
- 金属カルボニルの形成を利用した遷移金属元素の分離と回収 (特集 資源利用化学の新展開)
- Logic and Analog Test Schemes for a Single-Chip Pixel-Parallel Fingerprint Identification LSI(Image Sensor/Vision Chip,VLSI Technology toward Frontiers of New Market)
- ストロンチウムカルボン酸塩を原料としたEu^イオン付活窒化物系蛍光体の合成と評価(希土類系物質の精密合成,形態制御および機能物性)
- 酸化物イオン導電体を用いた電気化学的NOx除去反応
- ユウロピウムイオン含有ハロホウ酸塩の合成と蛍光特性
- カルボニル錯体の形成を利用した希土類焼結磁石スラッジの再生と同処理による鉄カーボンコンポジットの作製
- 希土類イオン含有ホウ酸塩ガラスのホールバーニング特性
- LaGaO_3含有ホウ酸塩ガラスセラミックスの作製と酸化物イオン伝導特性
- 希土類錯体と電荷輸送材料を含有したPMMAの永続的ホールバーニング特性
- A Sealing Technique for Stacking MEMS on LSI Using Spin-Coating Film Transfer and Hot Pressing
- DV-Xα法によるSm_2Fe_N_x系化合物の電子状態計算と磁性
- Application of 1.55-μm Photonic Technology to Practical Millimeter-Wave Network Analysis (Special Issue on Microwave and Millimeter Wave Technology)
- A 6-bit A/D Converter for MEMS-control circuit
- 希土類系金属間化合物-カーボンナノ複合体の作製と電波吸収特性
- 希土類酸化物-遷移金属窒化物ナノ複合体の電波吸収特性
- Ru/MgOアンモニア合成触媒におけるCeO_2の添加効果と膜反応器への応用
- 鉄-希土類酸化物コンポジットの電波吸収特性
- 希土類-鉄系金属間化合物を用いたアンモニア合成
- 希土類磁石スクラップを用いたナノ金属鉄複合微粒子の作製と電波吸収特性
- 希土類酸化物-鉄系複合体のアンモニア分解特性
- 希土類系金属間化合物の窒素吸蔵放出特性
- 希土類錯体分散複合蛍光体の高耐久性化と発光特性
- Conformal Coating of Organic Dielectric Film on Gold Electrodes in Microelectromechanical System Devices by Electrodeposition
- 撥水性希土類-鉄系磁性粉末の作製とボンド磁石の試作
- 希土類-鉄系の磁石粉末の表面被覆とその応用
- Fabrication of a Microelectromechanical System Mirror Array and Its Drive Electrodes for Low Electrical Interference in Wavelength-Selective Switches
- Surface Cleaning of Gold Structure by Annealing during Fabrication of Microelectromechanical System Devices
- Removal of Gold Oxide by Low-Temperature Hydrogen Annealing for Microelectromechanical System Device Fabrication
- 金属蒸気共収着によるNd-Fe-B系磁石の改質と磁気特性
- Selective Removal of Dry-Etching Residue Derived from Polymer Sacrificial Layer for Microelectromechanical-System Device Fabrication
- Removal of Gold Oxide by Low-Temperature Hydrogen Annealing for Microelectromechanical System Device Fabrication
- Synchronized Multiple-Array Vibrational Device for Microelectromechanical System Electrostatic Energy Harvester
- Novel Packaging Technology for Microelectromechanical-System Devices
- Electrodeposition of Water-Repellent Organic Dielectric Film as an Anti-Sticking Coating on Microelectromechanical System Devices
- Fabrication of Optical Microelectromechanical-System Switches Having Multilevel Mirror-Drive Electrodes
- Monolithic Integration Fabrication Process of Thermoelectric and Vibrational Devices for Microelectromechanical System Power Generator
- Electrodeposition of Organic Dielectric Film and Its Application to Vibrational Microelectromechanical System Devices
- A reliable procedure in a new power management technique for a 200-Gbps packet forwarding LSI