Novel Structure and Fabrication Process for Integrated RF Microelectromechanical-System Technology

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概要

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• Published by the Japan Society of Applied Physics through the Institute of Pure and Applied Physicsの論文
• 2006-09-15

著者

• 町田 憲一

  阪大先端セ

• Sato Norio

  Ntt Corp. Kanagawa Jpn

• URANO Masami

  NTT Microsystem Integration Laboratories

• SAKATA Tomomi

  NTT Microsystem Integration Laboratories

• ISHII Hiromu

  NTT Microsystem Integration Laboratories

• MACHIDA Katsuyuki

  NTT Microsystem Integration Laboratories

• Kodate Junichi

  Ntt Microsystem Integration Laboratories Ntt Corporation

• MORIMURA Hiroki

  NTT Microsystem Integration Laboratories

• YANO Masaki

  NTT Advanced Technology Corporation, NTT Corporation

• Urano Masami

  Ntt Microsystem Integration Laboratories Ntt Corporation

• SATO Norio

  NTT Microsystem Integration Labs.

• KAMEI Toshikazu

  NTT Advanced Technology Corp.

• KUDOU Kazuhisa

  NTT Advanced Technology Corp.

• KUWABARA Kei

  NTT Microsystem Integration Laboratories, NTT Corporation

• Yano Masaki

  Ntt Advanced Technology Corporation

• Kudou Kazuhisa

  Ntt Advanced Technology Corporation

• Morimura Hiroki

  Ntt Microsystem Integration Laboratories Ntt Corporation

• Sato Norio

  Ntt Microsystem Integration Lab. Kanagawa Jpn

• Kuwabara Kei

  Ntt Microsystem Integration Laboratories Ntt Corporation

• Sahri N

  Ntt Microsystem Integration Laboratories Ntt Corporation

• Ishii Hiromu

  Ntt Microsystem Integration Laboratories Ntt Corporation

• Machida K

  Ntt Advanced Technology Corporation

• Kamei Toshikazu

  Ntt Advanced Technology Corporation

• Kodate Junichi

  Ntt Microsystem Integration Laboratories

• Yano Masaki

  NTT Advanced Technology Corp.

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