スパッタアシストプラズマCVD法により作製されたPbTiO_3薄膜の配向性
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概要
著者
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田村 繁治
(独)産業技術総合研究所光技術研究部門
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田村 繁治
産業技術総合研究所光技術研究部門(関西センター)
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田村 繁治
大阪工業技術研究所
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木村 三郎
大阪工業技術試験所
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三原 敏行
大阪工業技術試験所
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望月 昭一
大阪工業技術試験所
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真壁 遼治
大阪工業技術試験所
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真壁 遼治
大阪工業技術研究所
-
望月 昭一
大阪工業技術研究所
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三原 敏行
大阪工業技術研究所
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