プラズマCVD法による窒化チタン膜形成(速報) (第25回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和59年10月29日〜31日)
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概要
著者
-
木村 三郎
大阪工業技術試験所
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望月 昭一
大阪工業技術試験所
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真壁 遼治
大阪工業技術試験所
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真壁 遼治
大阪工業技術研究所
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望月 昭一
大阪工業技術研究所
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青木 正樹
松下電器産業 開研
-
田畑 収
大阪工業技術試験所
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中島 貞夫
大阪工業技術試験所
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青木 正樹
松下電器産業 (株) 無線研究所
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